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      電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

      發布日期:2021-07-23 22:54
      信息摘要:
      對于半導體制造行業,在制造過程中,高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會導致在接觸周邊空氣時產生腐蝕和氧化。實際上,計算機部件受到的威脅比人類更大,...
      隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級,相應的產品對半導體產品生產環境的要求越來越高,因此半導體潔凈室內AMC的控制標準也提高了很多。
      1、潔凈室新風控制:在MAU內加裝化學過濾器,控制室外新風中的化學污染物;
      2、潔凈室循環風控制:在FFU上方加裝化學過濾器,控制整個潔凈室內部的氣態化學污染物;
      3、潔凈室機臺控制:在生產機臺上方加裝化學過濾器,機臺內部空間超潔凈度的氣態污染物控制。
      電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案
      電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

      編號

      應用場地

      可選裝置

      功能

      新風入口處

      側開式凈化機組

      去除外部環境進入潔凈室的AMC

      空調機組內

      HJ氣相過濾器

      去除外部環境和回風進入潔凈室的AMC

      FFU處

      HJ氣相過濾器

      去除送風過程進入潔凈室的AMC

      潔凈室內

      內循環凈化裝置

      去除潔凈室內產生的AMC

      回風段

      HJ氣相過濾器/側開式凈化機組

      去除潔凈室回風段含有的AMC

       
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      關鍵詞: 半導體工業

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